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この場合において、前記流体供給手段は圧力調整器を備え、上記制御部は、前記圧力調整器を制御することにより前記流体圧を調整可能に構成されることが好ましい。このとき、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、或いは、前記把持対象物検出手段の少なくとも一つの検出結果に応じて前記流体圧を調整することが望ましい。また、上記制御部は、前記コレット位置検出手段と前記把持態様検出手段の少なくとも一方の検出結果に基づいて、前記ユニット駆動系を制御し、前記ハンドリングユニットの位置又は姿勢を修正することが好ましい。さらに、上記制御部は、前記作動体位置検出手段、前記把持態様検出手段、又は、前記把持対象物検出手段の検出結果に基づいて、前記フィンガー部により把持した前記把持対象物に対する処理内容を複数の選択肢の中から選択することが好ましい。このとき、前記制御部は、選択された前記処理内容に応じて前記流体供給手段と前記ユニット駆動系の少なくとも一方を制御することが望ましい。
図７には、第６実施形態のハンドリングユニット６０の正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）を示す。この第６実施形態では、第１実施形態と同様のコレット６１、ハウジング６２及び作動体６３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ６８を介して流体供給口６２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１～第５実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット６１が把持対象物Ｐの内周部を内側から把持する把持面６１ｇを備える複数のフィンガー部６１ｃを備えている点で第１実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体６３は、コレット６１の軸孔６１ｘの内部を通過して、コレット６１の内面の一部で構成される被動部６１ｔに内側から当接して駆動力を与える駆動部６３ｃを先端外面に備える。さらに、コレット６１は、ハウジング６２の内面の一部の支持面部６２ｍに（インロー状態で）嵌合する基準部６１ａを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング６２の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部６１ｅを備える。この実施形態では、コレット６１は、被固定部６１ｅのハウジング６２に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部６１ａのハウジング６２の支持面部６２ｍに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット６１の位置及び姿勢が維持されながら作動体６３の駆動部６３ｃにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。
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本発明において、前記コレットの内部には軸孔が設けられ、該軸孔の内部から軸線方向先端側へ向けての流体の供給、若しくは、軸線方向先端側から前記軸孔を介した流体の排出、を可能とする流体給排口が設けられることが好ましい。ここで、前記流体給排口は、前記ハウジングの基端面に開口することが望ましい。
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最初に、機能実現手段１００Ａにおける処理内容を説明する。この機能実現手段１００Ａは、流体供給源１０２の供給する流体の流体圧を制御することにより、コレット１１のフィンガー部１１ｃの把持力を制御する手段である。コレット１１のフィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力は、流体圧が受圧部１３ｄに加わることによって生ずる作動力が作動体１３に加わり、この作動体１３に加わる作動力と、作動ばね１４の弾性復元力との差によって定まる駆動力が駆動部１３ｃから被動部１１ｔに与えられることにより、フィンガー部１１ｃによる把持対象物Ｐの把持力が定まる。このため、上記流体圧を圧力調整器Ｐ１により調整することにより、上記把持力を適宜の値に調整し、設定したり、変化させたりすることができる。流体圧の調整は、制御部１０１の制御信号Ｒｐ１によって行うことができる。このとき、作動体位置検出器Ｓ１の検出信号Ｓｓ、把持態様検出器Ｓ３－Ｓ５の検出信号Ｓｄ、又は、把持対象物検出器Ｓ６の検出信号Ｓｔの少なくともいずれか一つに基づいて、制御部１０１が制御信号Ｒｐ１を設定し、上記流体圧を変化させる。ここで、以下に説明する検出信号Ｓｄの他に、検出信号Ｓｓからは上述のように把持対象物の把持寸法の大小を推定できるので、把持寸法の大小に適した把持力に調整することが可能になる。また、検出信号Ｓｔからは把持対象物の硬さを推定できるので、この硬さに適した把持力に調整することが可能になる。
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また、本実施形態では、内周側規制ピン１６及び外周側規制ピン１７によって、コレット１１及び作動体１３がハウジング１２に対して回転方向に規制されるので、複数のフィンガー部１１ｃの把持面１１ｇによって把持可能な把持対象物に対する把持形状を、円形断面だけでなく、角形断面や楕円断面などの任意に設定することができる。なお、ハンドリングユニット１０の回転姿勢を把持対象物の姿勢に合わせることは、後述するハンドリング装置の制御部１００によるユニット駆動系の制御によってなされる。
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